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제품명
FFU(Fan Filter Unit)
특징
High Quality
고성능 Fan 사용을 통한 풍부한 풍량/풍속 유지를 통해 Wafer 오염 최소화
FFU내 풍속 Uniformity 개선을 통한 全 Area 고른 분사, 오염 방지
RPM, 차압 Monitoring 및 FDC Interlock 구현을 통한 사전 품질 예방 시스템 구축
차압 Auto 제어 시스템 구현을 통해 On Time 풍속/풍량/차압 제어
Low Cost
PTFE ULPA Filter 자체 제작 및 공급을 통한 제품 원가 최소화
자체 Controller 개발을 통한 多 Ch FFU 제어로 구성 Parts 최소화
가공 업체 상생 관계 유지 계약을 통한 가공 단가 최소화
고객 신뢰, 상생 우선 중시 경영 기반으로 제품 Margin 최소화

 

(주)마스

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