회사 연혁

회사 연혁
  • 2020

    - 중소기업청 기술혁신개발사업 시장대응형과제 (국민대학교 산학 개발 협업)
    Spin chuck refurbishment

  • 2019

    - Duct FFU 개발
    Auto damper 개발 / 직교 Robot 및 Robot Controller 국산화 및 개발

  • 2018

    - CDA FFU 개발 / CDA FFU 특허 출원
    중소기업청 수출유망과제 (한양대학교 산학 개발 협업)

  • 2017

    - 기업부설연구소 설립인가(한국산업기술진흥협회)
    기술혁신 형 중소기업 (Inno-Biz) 인증 취득
    한국공기청정협회 회원
    반도체 제조용 이송 챔버 특허등록

  • 2016

    - 수출 백만불 달성
    반도체 向 Slim 형 FFU 개발
    Fan Controller CE 인증 취득 / FFU Controller CE 인증 취득

  • 2015

    - 반도체 습기 제거용 FFU 개발 / 반도체 습기 제거용 FFU 특허 출원
    Velocity uniformity 향상용 FFU 개발 / Velocity uniformity 향상용 FFU 특허 출원
    SK hynix 협력사 등록

  • 2014

    - 삼성전자㈜ 협력사 등록

    - Lamp가 장착 된 FFU 개발 / 반도체 정전기 방지용 FFU 개발
    차압 Sensor 내장형 Fan Controller 특허 출원 / Energy saving 용 EC Fan Controller 개발
    반도체 용 FFU Map 구현이 가능한 FFU Controller 개발 / EC Fan 용 FFU Controller 개발

  • 2013

    - SK 행복나래 협력사 등록 / Air Particle Filter 첫 출하 (3월)
    WTCS(Wall Temperature Control System) 실용신안 등록
    FMS(Fan Monitoring System) 특허 등록 / CFS(Cooling Fan System) 특허 등록
    벤처기업 등록

  • 2012

    - ISO14001 인증 취득 / ISO9001 인증 취득

  • 2011

    - Clean room FFU, Display FFU, General FFU 첫 출하 (5월)

  • 2010

    - 반도체 장비용 부품 정밀가공 및 조립 생산
    ㈜아이마켓코리아 협력사 등록 / 삼성반도체 장비 FFU Repair & Refurbish 진행
    법인 설립 (2월)